MPCVD設(shè)備能沉積高純度的金剛石膜，其沉積速率也可以通過加大微波功率來提高。裝置設(shè)計(jì)人員將微波頻率從2.45GHz降低到915MHz。如果使用915MHz頻率的微波MPCVD設(shè)備裝置，就可以使微波功率提高很多，而微波功率的加大則能大幅度地提高金剛石膜的沉積速率，從而降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。一般2.45GHz頻率的MPCVD設(shè)備，它的微波功率一般不超過8KW，微波頻率的降低就可以使駐波腔截面積加大，使得金剛石膜的沉積面積加大，而沉積金剛石膜的直徑也從1.5KW微波功率的50mm金剛石膜上升到75KW微波功率的250mm金剛石膜。